分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.08.011

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (8) : 8068-8073. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.08.011

综述·??进展

分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层

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The progress of organic molecular nanolayers ascopper diffusion barriers,
part 1: organic molecular nanolayers

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2015-06-20	2016-08-30
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2016-08-30

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