磁控溅射CrAlCN涂层的结构与性能研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.07.016

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (7) : 7081-7084. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.07.016

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磁控溅射CrAlCN涂层的结构与性能研究

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Structure and properties of CrAlCN COATINGS deposited by medium frequency magnetron sputtering

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2015-07-10	2016-07-30
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2016-07-30

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