FA/OⅡ型螯合剂对多层Cu布线CMP后BTA去除的研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.06.038

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (6) : 6205-6208. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.06.038

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FA/OⅡ型螯合剂对多层Cu布线CMP后BTA去除的研究

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Study of FA/OⅡ chelating agent on BTA removal in post-CMP cleaning

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2015-06-09	2016-06-30
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2016-06-30

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