工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.043

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (5) : 227-230. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.043

工艺·技术

工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响

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Influenec of process gas ratio on the properties of alumina film deposited by microwave mocvd thchnology

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2015-02-11	2016-05-30
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2016-05-30

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