石墨衬底上多晶硅厚膜的生长及性质分析

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.04.014

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (4) : 70-73. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.04.014

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石墨衬底上多晶硅厚膜的生长及性质分析

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Preparation and properties of polycrystalline silicon thick film on graphite substrate

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2015-05-29