化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.047

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (2) : 2242-2246. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.047

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化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响

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Effect of chemical mechanical planarization material on sapphire polishing rate and roughness

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2015-04-23	2016-02-28
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2016-02-28

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