氨气还原氮化法制备TiN薄膜及其SERS效应研究

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.039

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (2) : 2197-2200. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.039

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氨气还原氮化法制备TiN薄膜及其SERS效应研究

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Preparation of TiN films via ammonia reduction nitridation process and their SERS effect

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2015-04-15	2016-02-28
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2016-02-28

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