固体透氧膜(SOM)法由SiO<sub>2</sub>电解制备多晶硅

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.035

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (2) : 2177-2182. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.02.035

工艺·技术

固体透氧膜(SOM)法由SiO₂电解制备多晶硅

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Preparation of polysilicon from SiO₂ by the solid oxide oxygen ion-conducting membrane (SOM) method

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2015-02-21	2016-02-28
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2016-02-28

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