采用第一性原理方法研究Nb-Si-N表面单原子绕岛吸附与迁移

doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.028

功能材料 ›› 2016, Vol. 47 ›› Issue (1) : 1136-1139. DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.028

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The adsorption and diffusion of single atoms around island in Nb-Si-N coating deposit process: a first principles calculation

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2015-01-10	2016-01-30
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2016-01-30

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