磁控溅射制备氢掺杂氧化锌薄膜的掺杂性能研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (10) : 1497-1501.

工艺 ·技术

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Investigation of the doping properties of ZnO:H thin film prepared by RF magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2012-10-17	2012-12-11	2013-05-30
Issue Date
2013-05-30

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