PDF(3645 KB) 
						
						
					
			沉积速率对ZnO薄膜生长过程和微结构影响的分子反应力场方法研究*
刘永利;刘欢;祁阳
						
							PDF(3645 KB) 
						
						
					沉积速率对ZnO薄膜生长过程和微结构影响的分子反应力场方法研究*
Reactive Force Field Study of the Effect of Subtract Temperature on the ZnO Film Growth Process and Microstructure
| {{custom_ref.label}} | 
									
										 {{custom_citation.content}} 
										
										
										
										
										
											{{custom_citation.annotation}}
										 
									
									 | 
								
/
| 〈 | 
								 | 
							〉 |