TiAlN和TiCrAlN薄膜的制备和耐磨性能

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (23) : 11-0.

工艺技术

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Preparation and Wear Properties of TiAlN and TiCrAlN Films

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Received	Revised	Published
2014-12-10	2015-07-02	2015-12-15
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2015-12-15

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