原子层沉积低温制备AZO薄膜

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (18) : 13-0.

研究开发

原子层沉积低温制备AZO薄膜

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A study on low-temperature growth of AZO thin films by atomic layer deposition

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Received	Revised	Published
2014-10-29	2015-01-14	2015-09-30
Issue Date
2015-09-30

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