AlN/TiSiN纳米多层膜的微观组织和力学性能研究

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (11-复合) : 26-0.

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Study on microstructure and mechanical properties of AlN/TiSiN nanomultilayered films

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Received	Revised	Published
2014-11-17	2014-12-08	2015-06-15
Issue Date
2015-06-15

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