射频磁控溅射法制备TiSiCN纳米复合膜的微观结构和力学性能研究

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (07) : 16-0.

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Characterization of microstructure and mechanical property of TiSiCN nanocomposite film deposited by RF magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2014-10-20	2014-11-02	2015-04-15
Issue Date
2015-04-15

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