直流磁控溅射铝纳米颗粒膜的微结构及电学特性

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (04) : 8-0.

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Microstructure and Electrical Properties of Al nano-particle films by DC Magnetron Sputtering

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Received	Revised	Published
2014-06-17	2014-08-14	2015-02-28
Issue Date
2015-02-28

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