石墨衬底上具有(220)/(400)择优取向多晶硅薄膜的制备及性质

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (04) : 31-0.

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Preparation and properties of polycrystalline silicon thin films with (220) and (400) preferred orientation on graphite substrate

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Received	Revised	Published
2014-05-13	2014-07-28	2015-02-28
Issue Date
2015-02-28

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