射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响

功能材料 ›› 2015, Vol. 46 ›› Issue (03) : 23-0.

研究开发

射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响

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The influence of RF power on the solid phase crystallization of a-Si thin films

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Received	Revised	Published
2014-05-13	2014-10-28	2015-02-15
Issue Date
2015-02-15

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