MOCVD法生长InAlN材料及其微结构特性研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (S1) : 18-0.

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Study of InAlN thin films and microstructures grown by MOCVD

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Received	Revised	Published
2013-09-23	2013-11-12	2014-06-29
Issue Date
2014-06-29

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