氧等离子体刻蚀对石墨烯性能的影响

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (24) : 2-0.

工艺技术

氧等离子体刻蚀对石墨烯性能的影响

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Investigation of the influence of Oxygen-Plasma etching on graphene

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Received	Revised	Published
2014-04-08	2014-06-24	2014-12-30
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2014-12-30

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