二氧化硅薄膜的微观结构与驻极体特性的相关性研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (22) : 31-0.

研究开发

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Study on Relations between Microstructures and Electret Properties for SiO2 film

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Received	Revised	Published
2014-04-17	2014-06-11	2014-11-30
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2014-11-30

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