CO2气体反应磁控溅射制备Ti-O薄膜成分和结构研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (20) : 32-0.

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On study of composition and structure of Ti-O film prepared by reactive magnetron sputtering Using CO2

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Received	Revised	Published
2014-01-08	2014-03-16	2014-10-31
Issue Date
2014-10-31

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