氢等离子体辅助固相晶化多晶硅薄膜的初步研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (19) : 5-0.

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The Preliminary Investigation of Hydrogen Plasma Assisted Solid Phase Crystallization Polycrystalline Silicon Film

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Received	Revised	Published
2013-12-09	2014-04-25	2014-10-15
Issue Date
2014-10-16

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