Hf0.2Zr0.8O2铁电薄膜的制备与电性能研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (17-稀土) : 14-0.

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Study on electric properties of Hf0.2Zr0.8O2 ferroelectric thin films

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Received	Revised	Published
2014-04-11	2014-05-25	2014-09-15
Issue Date
2014-09-15

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