Al2O3感光薄膜的制备及其微细图形化研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (12-光电) : 17-0.

研究开发

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Fabrication of Al2O3 photosensitive films and micro- patterning microstructures

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Received	Revised	Published
2013-10-15	2014-01-02	2014-06-30
Issue Date
2014-06-30

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