电子束注入对多孔硅吸杂效果的影响

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (08) : 8-0.

研究开发

电子束注入对多孔硅吸杂效果的影响

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Effect of electron beam injection on gettering effect of the porous silicon

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Received	Revised	Published
2013-06-24	2013-07-26	2014-04-30
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2014-04-30

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