多晶硅薄膜的氢等离子体钝化机理研究

功能材料 ›› 2014, Vol. 45 ›› Issue (07) : 15-0.

研究开发

多晶硅薄膜的氢等离子体钝化机理研究

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The Mechanism of Hydrogen Plasma Passivation for Poly-Si Thin Film

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Received	Revised	Published
2013-04-09	2013-05-22	2014-04-15
Issue Date
2014-04-15

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