多羟多胺在TSV铜膜CMP中的应用研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (24) : 2-0.

研究开发

多羟多胺在TSV铜膜CMP中的应用研究

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Investigation of Polyhydroxy Polyamino Complexing Agent on CMP of TSV Wafer

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Received	Revised	Published
2013-03-26	2013-04-22	2013-12-30
Issue Date
2013-12-30

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