氢化物气相外延生长GaN膜性质研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (23) : 19-0.

研究开发

氢化物气相外延生长GaN膜性质研究

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Properties of GaN Film Grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy

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2013-07-08	2013-08-08	2013-12-15
Issue Date
2013-12-15

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