采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (21) : 34-0.

研究开发

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Study on Characteristics of ITiO films by room temperature depositon and excimer laser annealing

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Received	Revised	Published
2012-12-17	2013-01-29	2013-11-15
Issue Date
2013-11-15

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