微量Al掺杂对TiN微观结构及性能的影响＊

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (18) : 11-0.

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Effect of Al doped on Microstructure and Properties of TiN Coating

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Received	Revised	Published
2013-05-15	2013-06-12	2013-09-30
Issue Date
2013-09-30

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