氢气气氛退火处理温度对磁控溅射ZnO薄膜光电性能的影响

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (15) : 2-0.

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Influence of hydrogen annealing temperature on the optical and electrical properties of ZnO thin films prepared by magnetron sputtering

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Received	Revised	Published
2012-12-19	2013-02-02	2013-08-15
Issue Date
2013-08-15

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