基于SVR的脉冲激光沉积TiN/AlN多层薄膜的工艺优化

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (14) : 2074-2078.

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Process parameters optimization for TiN/AlN multilayer films fabricated by pulsed laser deposition via SVR

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Received	Revised	Published
2012-10-25	2012-12-11	2013-07-30
Issue Date
2013-07-30

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