铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (14) : 1990-1994.

综述进展

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State-of-arts of vacuum fabrication technology of CIGS thin film and its sputtering target

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Received	Revised	Published
2012-11-12	2012-12-28	2013-07-30
Issue Date
2013-07-30

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