单晶硅炉用碳素材料的硅化腐蚀研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (12) : 1709-1712.

研究·开发

单晶硅炉用碳素材料的硅化腐蚀研究

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Silicification corrosion characteristics of monocrystalline silicon furnace carbon materials

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

History +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2013, 44(12): 1709-1712

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. Journal of Functional Materials. 2013, 44(12): 1709-1712

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

基金

版权

PDF(3906 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

Received	Revised	Published
2012-10-25	2013-03-04	2013-06-30
Issue Date
2013-06-30

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

引用本文

{{custom_sec.title}}

{{custom_sec.title}}

参考文献

参考文献

{{custom_fnGroup.title_cn}}

脚注

{{custom_ack.title_cn}}

基金

版权