Mg2Si半导体薄膜的热蒸发制备

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (08) : 1204-1207.

工艺 ·技术

Mg2Si半导体薄膜的热蒸发制备

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Thermal evaporation method of semiconducting Mg2Si films

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Received	Revised	Published
2012-11-20	2013-01-20	2013-04-30
Issue Date
2013-04-30

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