溅射时间对Mo薄膜结晶取向的影响

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (06) : 888-892.

工艺 ·技术

溅射时间对Mo薄膜结晶取向的影响

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The influence of the preferred orientation of Mo thin films on the sputtering time

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Received	Revised	Published
2012-08-01	2013-01-10	2013-03-30
Issue Date
2013-03-30

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