Ti薄膜在Si基底上的生长模拟

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (05) : 727-730.

工艺 ·技术

Ti薄膜在Si基底上的生长模拟

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The growth simulation of Ti thin film onto Si substrate

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Received	Revised	Published
2012-08-17	2012-12-11	2013-03-15
Issue Date
2013-03-15

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