Si衬底上低真空热处理制备单一相Mg2Si半导体薄膜

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (04) : 585-589.

工艺 ·技术

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Preparation of single phase semiconducting Mg2Si film on Si substrate by low vacuum heat treatment

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Received	Revised	Published
2012-08-27	2012-10-27	2013-02-28
Issue Date
2013-02-28

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