溶胶-凝胶法制备氧化铝绝缘薄膜及其电性能研究

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (04) : 581-584.

工艺 ·技术

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Preparation and electrical properties of insulating aluminum oxide thin films by sol-gel process

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Received	Revised	Published
2012-07-16	2012-10-14	2013-02-28
Issue Date
2013-02-28

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