氮气流量对中频非平衡磁控溅射TiAlN薄膜结构及性能的影响

功能材料 ›› 2013, Vol. 44 ›› Issue (01) : 32-35.

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Influence of Nitrogen Flows on Structure and Properties of TiAlN Film Prepared by Mid-frequency Unbalanced Magnetron Sputtering

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Received	Revised	Published
2012-06-12	2012-08-20	2013-01-15
Issue Date
2013-01-15

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