混合磨料对LED用蓝宝石衬底CMP质量的影响

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (S1) : 21-0.

研究与开发

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Effects of mixed abrasives on the CMP quality of sapphire substrate

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Received	Revised	Published
2012-05-18	2012-07-02	2012-06-29
Issue Date
2012-06-29

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