基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (21) : 26-0.

研究与开发

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Effects of Substrate Temperature Composite Control Methods on DC Arc Discharge Plasma CVD nanocrystallite Diamond Films

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Received	Revised	Published
2012-05-03	2012-06-05	2012-11-15
Issue Date
2012-11-15

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