射频溅射工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (12) : 1553-1555.

研究与开发

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Influence of RF sputtering parameter on the structural and electrical properties of AZO thin film

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Received	Revised	Published
2011-10-19	2012-01-11	2012-06-30
Issue Date
2012-06-30

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