低电压驱动微流控芯片二氧化硅绝缘薄膜的研究

功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (09) : 1204-1206.

研究与开发

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The study of SiO2 insulating film for low voltage-driven microfluidic chip

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Received	Revised	Published
2011-12-08	2012-01-19	2012-05-15
Issue Date
2012-05-15

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