直流溅射工艺参数对Mo薄膜结构及电性能的影响

直流溅射工艺参数对Mo薄膜结构及电性能的影响

黄涛;闫勇;余洲

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功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (04) : 499-503.

研究与开发

直流溅射工艺参数对Mo薄膜结构及电性能的影响

{{article.zuoZhe_CN}}

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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2012, 43(04): 499-503

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{{article.reference}}

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{{article.copyrightLicense_cn}}

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