氢稀释比与衬底温度对硅基薄膜相变及其光电性能影响的研究

氢稀释比与衬底温度对硅基薄膜相变及其光电性能影响的研究

朱秀红;陈光华;正茂盛

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功能材料 ›› 2012, Vol. 43 ›› Issue (04) : 496-498.

研究与开发

氢稀释比与衬底温度对硅基薄膜相变及其光电性能影响的研究

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