纳米二氧化硅抛光液对低K材料聚酰亚胺的影响

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S5) : 852-854.

研究与开发

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Effect of nano-Si02 slurry on low-k material (PI)

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Received	Revised	Published
2011-03-14	2011-05-08	2011-10-26
Issue Date
2011-10-26

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