射频磁控溅射制备Mn掺杂ZnO薄膜的结构与光学性能

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S4) : 17-0.

研究与开发

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Structural and Optical Properties of Mn-Doped ZnO Thin Films by RF Magnetron Sputtering

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Received	Revised	Published
2010-10-27	2011-01-12	2011-09-25
Issue Date
2011-09-25

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