CVD法SiC纤维沉积过程的正交试验研究

功能材料 ›› 2011, Vol. 42 ›› Issue (S1) : 6-0.

研究与开发

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Research on Orthogonal Experiment for CVD Deposition Process of SiC Filament

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Received	Revised	Published
2010-07-30	2010-09-16	2011-03-25
Issue Date
2011-03-25

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